一种真空镀膜用在线外观检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202020620547.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212610884U | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN212610884U | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | C23C14/52(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李仕军 | 申请（专利权）人 | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 中山市捷凯专利商标代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 石仁 |
| 地址 | 528400广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱，所述的真空检测箱内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件和用于为检测提供光照的线性光源组件，所述的真空检测箱上设有观察窗组件，所述的观察窗组件上方设有工业相机组件，所述的工业相机组件包括工业相机和用于调节工业相机与被镀膜工件检测表面距离的调节件。本实用新型提供的真空镀膜用在线外观检测装置，可根据被镀膜工件的形状特征调节工业相机和被镀膜工件检测表面的距离，适用范围广，实用性强；同时，在镀膜过程中可以实时根据镀膜需求及时调整工业相机与被镀膜工件检测表面距离，及时发现镀膜缺陷并及时修正，避免因不能实时发现镀膜缺陷造成多次返工。 |
