应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构

基本信息

申请号 CN202020620576.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213538092U 公开(公告)日 2021-06-25
申请公布号 CN213538092U 申请公布日 2021-06-25
分类号 C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 吴仕锋;徐从高 申请(专利权)人 广东生波尔光电技术有限公司
代理机构 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 石仁
地址 528400广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于自动化镀膜的技术领域,尤其涉及应用于自动化镀膜线上的多工位升降平移机构。包括机架平台、行走平台、升降架以及多工位传动平台,所述多工位传动平台上有多个可容置基片架的暂存区,所述行走平台可带动所述多工位传动平台在机架平台上行走以使多工位传动平台与自动化镀膜线上的不同工位对接。利用行走平台带动多工位传动平台在机架平台移动从而切换不同的工位,即可实现通过多工位传动平台在基片架存储段更换备用基片架或卸载基片架上的产品、或对接镀膜设备的输入输出、或将基片架以及产品传送至产品段进行其他工序加工。