一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置
基本信息
| 申请号 | CN202020617963.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212610881U | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN212610881U | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙广大 | 申请（专利权）人 | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 中山市捷凯专利商标代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 石仁 |
| 地址 | 528400广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜基板温度冷却的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗。 |
