特种工件真空镀膜控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202020614914.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213086105U | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN213086105U | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李星;钟玉盛;徐从高 | 申请（专利权）人 | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 中山市捷凯专利商标代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 石仁 |
| 地址 | 528400 广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插板阀的开启或关闭；第二泵组驱动单元，驱动第二泵组启动；离子源启动单元，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源；中频电源启动单元，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源；第二插板阀启闭驱动单元，驱动第二插板阀的开启或关闭。本实用新型实施例，通过真空镀膜控制系统，至少可按镀膜工序的要求实现对真空镀膜设备的全自动化控制，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。 |
