一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构
基本信息
| 申请号 | CN202020618009.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213086092U | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN213086092U | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李培东;徐从高 | 申请（专利权）人 | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 中山市捷凯专利商标代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 石仁 |
| 地址 | 528400 广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件，把一体式的圆柱靶与靶门定位固定在翻转架框架上，对靶门其中一面检修后，再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架上靶门的翻转，不仅可以处理靶电机和流量计，也可以翻转后处理靶材维护、检查、排水、阴极等问题，大大降低工作难度和工作强度，提高工作效率以及工作质量。 |
