一种质量厚度为700-1400μg/cm2自支撑锗薄膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810933359.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109136831B | 公开（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申请公布号 | CN109136831B | 申请公布日 | 2020-04-24 |
| 分类号 | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 欧志清 | 申请（专利权）人 | 泰安泰山科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市时代知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广州本康环保科技有限公司 |
| 地址 | 271000 山东省泰安市高新区南天门大街中段高端人才创业基地 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大尺度自支撑锗薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统在衬底表面沉积氧化铝缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统再次沉积锗薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将锗薄膜捞起，得到质量厚度为700‑1400μg/cm2自支撑锗薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为700‑1400μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑锗薄膜，且工艺简单。 |
