基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查方法及设备
基本信息
| 申请号 | CN201711457893.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108169131A | 公开（公告）日 | 2018-06-15 |
| 申请公布号 | CN108169131A | 申请公布日 | 2018-06-15 |
| 分类号 | G01N21/01;G01N21/958 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王彩虹 | 申请（专利权）人 | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅;刘海 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区新洲路18路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于白光光栅干涉法的微小颗粒检查方法及设备，其特征是，包括：承载系统；光学成像系统；光学照明系统，所述光学照明系统包括光源以及设置于光源前面的光栅；控制系统，所述控制系统与承载系统连接，用于控制承载系统沿X轴移动和水平转动；以及，计算机系统，所述计算机系统与光学成像系统和控制系统连接，用于对光学成像系统回传的检测图像进行处理，识别图像中待检测样品的表面缺陷以及用于输出指令，使得控制系统控制承载系统的动作。本发明可以快速检测出待检测样品表面的微小凸起或凹陷。 |
