一种树脂增透膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810124666.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108318944A | 公开（公告）日 | 2018-07-24 |
| 申请公布号 | CN108318944A | 申请公布日 | 2018-07-24 |
| 分类号 | G02B1/115;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/32 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 王军 | 申请（专利权）人 | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅;任月娜 |
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新吴区新洲路18路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种树脂增透膜及其制备方法，从下至上包括基板以及复合层，复合层为相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层组成，Ti3O5层的厚度为10~400 nm，SiAl层的厚度为10~400 nm，将基板置于含离子源的镀膜机的真空室中依次进行复合层中各层材料的镀膜并对各层材料进行蒸发得到树脂增透膜。本发明制备方法简单，步骤易于操作，采用Ti3O5和SiAl为镀膜原料，交替层叠在树脂基板上制备增透膜，各膜层致密度高，各膜层间的应力相匹配、附着力强。 |
