一种真空镀膜机的充气系统
基本信息
| 申请号 | CN201820360461.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208151469U | 公开（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申请公布号 | CN208151469U | 申请公布日 | 2018-11-27 |
| 分类号 | C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅 |
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新吴区新洲路18路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种真空镀膜机的充气系统，进气管道一端连接大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔室，进气管道一端设置有进气口，另一端开设充气口；在靠近进气口一端的进气管道上设置一控制阀，所述进气管道通过充气口连接两根充气管，所述两根充气管呈交叉贯通的形式，在每根充气管上均匀排列设有多个规格相同的出气孔，所述出气孔沿着充气管的径向开设，所有出气孔在充气管的轴向依次布置。经充气口充入的高速气体喷射到真空腔室内交叉贯通的充气管内，充气管吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在真空腔室内的扩散方式，充入气体经由充气管上规则分布的气孔，平缓均匀分散的从真空腔室顶部充入底部，减缓了充气系统的气体冲击性。 |
