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一种适用于发光二极管的剥离方法

基本信息

申请号 CN201310023478.1 申请日 -
公开（公告）号 CN103943730A 公开（公告）日 2014-07-23
申请公布号 CN103943730A 申请公布日 2014-07-23
分类号 H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王立彬;郭德博 申请（专利权）人 同方光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100083 北京市海淀区清华同方科技广场A座29层
法律状态 -

摘要

摘要 一种适用于发光二极管的剥离方法，涉及光电技术领域。本发明的剥离方法步骤为：在基底材料上覆盖一层介质膜一形成图案一；在器件上表面覆盖一层介质膜二；用化学液腐蚀掉介质膜一，介质膜一上方的介质膜二被剥离，基底材料上由保留的介质膜二形成图案二，图案二与图案一的图形相反。同现有技术相比，本发明使用非光刻胶材质实现图形化工艺，适用范围更加广泛。