互通电极结构、其制造方法与应用

基本信息

申请号 CN202111617901.1 申请日 -
公开(公告)号 CN114695595A 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN114695595A 申请公布日 2022-07-01
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0445(2014.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林剑;张浩;王敬;王振国;骆群;龚超;马昌期 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 215123江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种互通电极结构、其制造方法与应用。所述制造方法包括:在绝缘基材的选定区域加工出通孔,所述通孔沿厚度方向贯穿所述基材;在所述基材的第一面施加包含第一导电材料的导电浆料,并使部分的导电浆料进入通孔且到达通孔两端之间的设定位置;以第二导电材料在所述基材相背于第一面的第二面形成第二导电层,并使部分的第二导电材料进入通孔形成第二导电体,所述第二导电体与通孔内的第一导电体电性结合,所述第一导电体由进入通孔的导电浆料形成,从而在所述基材内形成导电通道。本发明提供的互通电极结构制作方法具有工艺简单、制造成本低等优点,所获透明电极导电性能良好、良品率高。