一种能够增加键合中晶圆对准效率的装置
基本信息
| 申请号 | CN202122664916.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216871926U | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN216871926U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 宗肖航;赵德胜;张宝顺 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇科教路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种能够增加键合中晶圆对准效率的装置，包括水平设置的定位环和竖直设置的引导杆，所述引导杆穿过所述定位环并与所述定位环的内侧相连接，且所述引导杆围绕所述定位环设置；所述引导杆包括弧形引导段和直线引导段，所述弧形引导段与所述直线引导段直接连接，且所述弧形引导段位于所述直线引导段的上部。采用本实用新型，具有提升对准精度和提高对准效率的优点。 |
