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铜蚀刻液预处理系统

基本信息

申请号 CN201720639826.1 申请日 -
公开（公告）号 CN207012624U 公开（公告）日 2018-02-16
申请公布号 CN207012624U 申请公布日 2018-02-16
分类号 B01D25/12 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 刘志雄;陈雪平 申请（专利权）人 东莞市恒建环保科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 东莞市恒建环保科技有限公司
地址 523000 广东省东莞市麻涌镇麻三村豪峰工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种铜蚀刻液预处理系统，包括依次连通且相邻设置的反应池、压滤机及滤芯过滤设备，反应池用于铜蚀刻液与药剂发生化学反应，压滤机用于将反应池中铜蚀刻液与药剂发生化学反应后的溶液过滤以得到滤液，滤芯过滤设备用于将压滤机中的滤液再次过滤以得到预处理后的铜蚀刻液，滤芯过滤设备包括壳体、收容于壳体内的滤芯及出液管道，壳体设有进液口和出液口，进液口用于压滤机中的滤液进入壳体，出液管道安装于出液口，出液管道的管壁靠近出液口的位置设有取样口。如此先后通过压滤机和滤芯过滤设备两次过滤，避免了采用压滤机一次过滤导致铜蚀刻液工作液不纯的问题，且取样口便于随时检查铜蚀刻液是否符合标准，进而提高了铜蚀刻液的纯度。