一种用于半导体用石英环的快速抛光装置
基本信息
| 申请号 | CN202121824483.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216098223U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216098223U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/06（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 单佩 | 申请（专利权）人 | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海茸恒专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 袁威 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学路509号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体抛光技术领域，具体涉及一种抛光装置。一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括至少一个用于卡接半导体用石英环的石英环卡盘，还包括一机架，机架上具有：一抛光机构，具有抛光盘、与抛光盘转动连接的抛光转动机构；至少一个卡盘转动机构，具有与石英环卡盘卡接的转动端，带动石英环卡盘转动；石英环卡盘位于抛光盘上方，石英环卡盘上卡接半导体用石英环的一面朝向抛光盘。本实用新型操作简单，方便使用，效率高、成本低，提高了操作员工的工作环境，降低安全隐患。 |
