一种用于半导体加工的组合式真空吸盘
基本信息
| 申请号 | CN202120857629.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214771552U | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN214771552U | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 舒宇珩 | 申请（专利权）人 | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海茸恒专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 袁威 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学路509号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于石英环类加工技术领域，具体涉及一种真空吸盘。一种用于半导体加工的组合式真空吸盘，包括石墨吸盘，还包括吸盘底座，吸盘底座顶面上设有底座凹槽，石墨吸盘底面设有向下凸起的连接块，连接块嵌入底座凹槽，致使石墨吸盘与吸盘底座卡接；吸盘底座上设有联通底座凹槽内外的底座气孔，底座气孔上设有底座气管，底座气管通过底座节气阀连接外部抽真空装置。本实用新型对于传统上盘加工石英环产品所需调试时间少，效率提高，结构简单。 |
