一种低羟基不透明石英玻璃及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202210533504.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114751631A | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN114751631A | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | C03B19/14（2006.01）I;C03B20/00（2006.01）I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 胡付俭;周厚盟;梁伟兴 | 申请（专利权）人 | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海沣成知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学路509号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于石英玻璃制造技术领域，具体涉及一种低羟基不透明石英玻璃及其制造方法。其中一种低羟基不透明石英玻璃的制造方法，包括：S1，将Si源与燃气、氧气在反应器中进行气相沉积反应，反应得到SiO2粉体沉积在目标载体上，移除目标载体，得到SiO2坯体；S2，对SiO2坯体至于真空炉中进行脱羟处理；S3，SiO2坯体在真空炉中保持真空环境，进行烧结，得到低羟基不透明石英玻璃。本发明方法得到的不透明石英玻璃，密度分布介于2.10g/min‑2.15g/min之间，微孔均匀性好，同时羟基含量小于10ppm，金属杂质含量在50ppb以下，纯度达到合成石英玻璃同等水平。 |
