首页/ 上海菲利华石创科技有限公司/ 专利详情

用于半导体用石英板的抛光上盘装置及抛光上盘方法

基本信息

申请号 CN202110007478.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112847101B 公开（公告）日 2021-11-19
申请公布号 CN112847101B 申请公布日 2021-11-19
分类号 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B1/00（2006.01）I;F28C3/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 单佩;陈佳骅 申请（专利权）人 上海菲利华石创科技有限公司
代理机构 上海和华启核知识产权代理有限公司 代理人 达晓玲
地址 201801上海市嘉定区博学路509号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体用石英板上盘技术领域，具体涉及一种抛光上盘装置及抛光上盘方法。其中，用于半导体用石英板的抛光上盘装置，包括底座，底座上设有水平移动机构，水平移动机构上分别设有高温恒温水箱和低温恒温水箱，还包括升降篮，升降篮内底面上设置有升降篮卡槽，升降篮通过升降气缸安装在高温恒温水箱和低温恒温水箱上方，升降篮内设有加压提篮，加压提篮通过加压气缸安装在升降篮顶部的内壁上，加压提篮内底面设有加压卡槽，加压卡槽上卡接吸盘装置，吸盘装置的底面穿过加压卡槽后位于升降篮内底面上方，吸盘装置的底面用于吸住半导体用石英板。本发明结构简单，操作便利；提高了操作员工的工作环境，降低安全隐患。