一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置
基本信息
| 申请号 | CN202010984677.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114211399A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114211399A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B24B55/02（2006.01）I;B24B49/14（2006.01）I;B01F27/112（2022.01）I;B01F35/12（2022.01）I;B01F35/00（2022.01）I;B01D33/03（2006.01）I;B01F101/27（2022.01）N | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 单佩;顾曹鑫 | 申请（专利权）人 | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海和华启核知识产权代理有限公司 | 代理人 | 达晓玲 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区马陆镇博学路509号1幢1-4层A区、地下1层A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种石英环用的抛光液供给装置。一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置，包括抛光液桶、抛光液桶盖、搅拌装置、抛光液供给水泵、纯水桶、原液桶，纯水桶的底部通过纯水泵联通抛光液桶，原液桶的底部通过抛光液调节水泵联通抛光液桶，抛光液桶盖上设有抛光液回水口，抛光液回水口通过管路连接抛光机的抛光液出液口；抛光液桶盖上安装有音叉式密度计和温度传感器，抛光液桶的下方装有半导体制冷块，音叉式密度计分别连接纯水泵、抛光液调节水泵，温度传感器连接半导体制冷块。本发明可自动调节抛光液浓度和温度，提高抛光效率和精度，操作简单，使用方便。 |
