一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法

基本信息

申请号	CN201910152827.7	申请日	-
公开（公告）号	CN109888065A	公开（公告）日	2019-06-14
申请公布号	CN109888065A	申请公布日	2019-06-14
分类号	H01L33/00（2010.01）I; B23K26/082（2014.01）I; B23K26/18（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	孙永健; 豆学刚; 莫少琼; 王光普; 王艳祥; 邓海燕; 郑会刚	申请（专利权）人	保定中创燕园半导体科技有限公司
代理机构	保定市燕赵恒通知识产权代理事务所	代理人	王葶葶
地址	071051 河北省保定市国家高新区北二环惠阳街369号中关村创新基地1号楼A座
法律状态	-

摘要

本发明实施例公开了一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法，包括采用加热激光剥离设备对报废的LED外延片进行激光扫描，放入高温炉进行高温分解，高温炉内混合气体为氢气、氮气、氯气、氯化氢中的一种及两种以上，气体总流量5‑100L/min,温度600‑1300℃；置于温度为70‑130℃的碱溶液中静置，再置于温度为80‑180℃的酸溶液中静置；再在内有温度为90‑140℃的体积比为1：4‑7的硫酸与双氧水的混合液的石英槽内进行清洗，用去离子水冲洗后甩干。本发明将报废的LED外延片在不损伤图形的基础上去除图形化蓝宝石衬底上的外延层制作成新的图形化蓝宝石衬底，使其重新利用，工艺简单，成本低。