一种氮化铝陶瓷基板烧结用叠片架

基本信息

申请号 CN201920889476.3 申请日 -
公开(公告)号 CN210242436U 公开(公告)日 2020-04-03
申请公布号 CN210242436U 申请公布日 2020-04-03
分类号 F27D5/00(2006.01)I 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 孙永健;郭坚;王光普;谌洛;贾军峰;豆学刚;莫少琼 申请(专利权)人 保定中创燕园半导体科技有限公司
代理机构 保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 代理人 王葶葶
地址 071051河北省保定市国家高新区北二环惠阳街369号中关村创新基地1号楼A座
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种氮化铝陶瓷基板烧结用叠片架,包括底板、盖板和多片与底板尺寸相同的支撑叠片;所述底板四角分别固定有四根固定柱;所述支撑叠片的四角与固定柱相对应的位置开有与底板上的固定柱完全配合的固定孔;盖板四角与固定柱相对应的位置开有与底板上的固定柱完全配合的固定槽或固定孔;使用时,各支撑叠片穿在底板上的固定柱上,盖板也穿在底板上的固定柱上。使用该叠片架将氮化铝生坯进行叠片后烧结,制成的氮化铝陶瓷基板之间不会产生粘接,不改变氮化铝陶瓷基片性能的稳定性和重复性,保证了基板的平整度,基本没有翘曲变形,成品率高。