一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910152598.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109887878A | 公开（公告）日 | 2019-06-14 |
| 申请公布号 | CN109887878A | 申请公布日 | 2019-06-14 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I; H01L33/00（2010.01）I; B23K26/53（2014.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙永健; 豆学刚; 莫少琼; 王光普; 王艳祥; 邓海燕; 郑会刚 | 申请（专利权）人 | 保定中创燕园半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 | 代理人 | 王葶葶 |
| 地址 | 071051 河北省保定市国家高新区北二环惠阳街369号中关村创新基地1号楼A座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种回收图形化蓝宝石衬底的方法，包括采用波长355nm、剥离功率5‑15W的激光剥离机对报废的LED外延片进行激光扫描，放入高温炉进行高温分解，高温炉内混合气体为氢气、氮气、氯气、氯化氢中的一种及两种以上，气体总流量5‑100L/min,温度600‑1300℃；置于装有温度70‑130℃的防腐蚀器皿内的碱溶液中静置，再置于装有温度为80‑180℃的防腐蚀器皿内的酸溶液中静置；再在内有温度为90‑140℃的体积比为1：4‑7的硫酸与双氧水的混合液的石英槽内进行清洗，用去离子水冲洗后甩干。本发明在不损伤图形的基础上去除图形化蓝宝石衬底上的外延层，使其重新利用，工艺简单，成本低。 |
