一种小型晶体谐振器的晶片清洗机
基本信息
| 申请号 | CN201520839462.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205128495U | 公开（公告）日 | 2016-04-06 |
| 申请公布号 | CN205128495U | 申请公布日 | 2016-04-06 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 汤阳武;李庆跃;吴宗泽;王臻;林土全;郭雄伟 | 申请（专利权）人 | 浙江东晶电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 金华科源专利事务所有限公司 | 代理人 | 浙江东晶电子股份有限公司;东晶电子金华有限公司 |
| 地址 | 321025 浙江省金华市宾虹西路555号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种小型晶体谐振器的晶片清洗机，其特征在于：包括多个不同水温水位振洗槽及水箱、移料装置，不同水温水位振洗槽内装有振板，振板内密封有换能器，振洗槽内设置有液位开关，不同水温水位振洗槽间由移料装置移料，移料装置包括移料吸取装置、移料行程控制杆、移料电机旋转块和移料移动装置。振洗槽包括清洗液振洗槽、热水喷淋振洗槽、热水低水位振洗槽、热水高水位振洗槽、纯水低水位振洗槽、纯水高水位振洗槽，依次连接。本实用新型能有效地去除晶片表面的脏污和异物，使小型晶片清洗干净，解决清洗过程造成的破片、裂片问题，实现热水、纯水循环利用，保障品质，降低制造成本，提升效率。 |
