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一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置

基本信息

申请号 CN201520291021.3 申请日 -
公开（公告）号 CN204651287U 公开（公告）日 2015-09-16
申请公布号 CN204651287U 申请公布日 2015-09-16
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 詹超;廖其飞;吴宗泽;池旭明;王臻;林土全 申请（专利权）人 浙江东晶电子股份有限公司
代理机构 金华科源专利事务所有限公司 代理人 浙江东晶电子股份有限公司;东晶电子金华有限公司
地址 321025 浙江省金华市宾虹西路555号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于制造石英晶体元件的设备技术领域，具体是一种自动离子刻蚀机的挡板调试装置，由挡板固定底座和钼片板组成，其特征是所述挡板固定底座上设置有旋转电机；电机轴上设置有挡板固定块，挡板通过固定螺丝固定在挡板固定块上；所述钼片板上设置有调试孔。本实用新型的挡板调试装置在控制石英晶体谐振器的调试时，通过旋转电机控制挡板的转动，从而可使挡板达到遮挡调试孔或打开调试孔的目的，调试孔的关闭和打开调节灵活，动作灵敏，产品良率高。同时，挡板厚度较厚，使挡板的使用周期较长，设备故障和维修率低。