电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201810477851.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108764087B | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN108764087B | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G06K9/00;B81C1/00 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 黄景泽;效烨辉;程泰毅;杨军 | 申请（专利权）人 | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉;刘飞 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区盛夏路560号2幢1003室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例提供了一种电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法，该方法包括：基于CMOS工艺形成信号处理器；在所述信号处理器的上表面形成绝缘层；在所述绝缘层上基于MEMS工艺形成压电换能器，并将所述压电换能器与所述信号处理器进行电性连接。本申请实施例可节约超声波指纹识别装置的制造成本。 |
