一种沉积炉的炉膛结构
基本信息
| 申请号 | CN202120146473.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214142528U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214142528U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张寒;商春利;李得军;娄陈林;胡春亚 | 申请（专利权）人 | 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 |
| 代理机构 | 荆州市亚德专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 蔡昌伟 |
| 地址 | 434000湖北省荆州市东方大道68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种沉积炉的炉膛结构，属石英玻璃生产机械技术领域。该炉膛结构包括底板、外墙、耐火层、炉膛和靶料面，底板上设置有外墙，外墙内设置有烟道，烟道的烟道板上方设置有耐火层，耐火层与外墙之间呈放射状设置有多层保温砖，烟道板内侧设置有炉膛，炉膛内设置有靶料面。该炉膛结构通过由上至下逐渐降低保温砖的构筑密度，从而使其由上至下逐渐增大炉膛的散热能力，进而使熔融后的二氧化硅微粒能快速沉积冷却形成石英玻璃锭产品，由此有效提高生产速度，且能保证产品口径和光学均匀性，解决了现有炉膛对产品产能、口径和光学均匀性难以兼顾的问题，特别适用于生产石英玻璃使用。 |
