一种具有倾斜扫描功能的LDI设备二维平台
基本信息
| 申请号 | CN202121375771.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215117165U | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN215117165U | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 马强;张昌清;刘涛 | 申请（专利权）人 | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 亳州速诚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 艾玲 |
| 地址 | 311121浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及LDI设备二维平台技术领域，尤其为一种具有倾斜扫描功能的LDI设备二维平台，包括二维平台和X轴，所述二维平台的内侧设置有X轴，所述二维平台的内侧设置有Y轴，所述二维平台的内侧设置有空间光调制器，本实用新型中若线路较细选用小的网格精度，保证线路解析效果，若线路较粗选用较大的网格精度，减小数据量，提高产能，计算出具体的θ，根据规划出的不同的扫描轨迹得到相应的网格精度，实现了一台设备多种网格精度，SLM无需倾斜安装，节省了空间，对镜头数量多且间距小的机型优势尤为明显，增加装置的实用性。 |
