一种用于双平台气路控制改进结构

基本信息

申请号 CN202121385630.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215908867U 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN215908867U 申请公布日 2022-02-25
分类号 F17D1/02(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 李伟;张磊;张立;刘涛;张昌清 申请(专利权)人 浙江津芯微电子科技有限公司
代理机构 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 艾玲
地址 311121浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及工业生产技术领域,尤其为一种用于双平台气路控制改进结构,包括左平台和右平台,所述左平台外侧通过导管固定连接有真空阀一,所述真空阀一输入端通过导管固定连接有电磁阀一,所述电磁阀一外侧通过导管固定连接有压力表,所述压力表输入端固定连接有外部气路,所述真空阀一输出端通过导管固定连接有鼓风机;本实用新型中,通过设置的真空阀一、真空阀二、真空阀三和鼓风机,通过合理使用真空阀的正反接、增加鼓风机端口的数量,达到减少真空阀的使用个数的目的,同时单独控制每个平台的效果没有丝毫的改变,节约了成本和空间。