一种用于双平台气路控制改进结构
基本信息
申请号 | CN202121385630.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215908867U | 公开(公告)日 | 2022-02-25 |
申请公布号 | CN215908867U | 申请公布日 | 2022-02-25 |
分类号 | F17D1/02(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 李伟;张磊;张立;刘涛;张昌清 | 申请(专利权)人 | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
代理机构 | 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 艾玲 |
地址 | 311121浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及工业生产技术领域,尤其为一种用于双平台气路控制改进结构,包括左平台和右平台,所述左平台外侧通过导管固定连接有真空阀一,所述真空阀一输入端通过导管固定连接有电磁阀一,所述电磁阀一外侧通过导管固定连接有压力表,所述压力表输入端固定连接有外部气路,所述真空阀一输出端通过导管固定连接有鼓风机;本实用新型中,通过设置的真空阀一、真空阀二、真空阀三和鼓风机,通过合理使用真空阀的正反接、增加鼓风机端口的数量,达到减少真空阀的使用个数的目的,同时单独控制每个平台的效果没有丝毫的改变,节约了成本和空间。 |
