复眼主动对焦匀光系统
基本信息
| 申请号 | CN202210449809.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114706278A | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN114706278A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张昌清;张立;刘涛 | 申请（专利权）人 | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州汇和信专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 310000浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种复眼主动对焦匀光系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域。本发明包括基板，基板的上侧设有第三镜片、滑动配合有两个矩形框，矩形框内滑动配合有固定框、一侧固定有固定板，固定框的一侧固定有连接板，连接板的上侧转动配合有第一螺纹杆，且第一螺纹杆贯穿固定板并螺纹配合在固定板内，两个固定框内分别装设有第一镜片和第二镜片。本发明通过伺服电机的作用方便带动第二螺纹杆进行转动，进而方便让第二螺纹杆带动矩形框在基板和支撑架之间进行滑动，通过转动转把方便带动第一螺纹杆进行转动，进而带动固定框在矩形框的内部进行滑动，进而方便调节固定框内第一镜片或第二镜片的高度。 |
