基于FPGA光直写方法及成像传输系统设备
基本信息
| 申请号 | CN202210449434.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114624966A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114624966A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨国环;张昌清;刘涛 | 申请（专利权）人 | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州汇和信专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 310000浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于FPGA光直写方法及成像传输系统设备，涉及激光直写技术领域。本发明包括通过计算机直写软件设计出基片掩模上需要的图形；通过计算机产生设计的微光学元件或待制作的VLSI掩摸结构数据；将数据转换成直写系统控制数据，由计算机控制激光源发射激光束在光刻胶上直接扫描曝光；通过激光束在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形，从而把设计图形直接转移到基片掩模上。本发明通过设置的两个夹板，能带动两个夹板相对移动对放置台上的放置的基片进行夹持固定，激光发射器和摄像设备位于操作箱的下面，从而减少了激光发射器和摄像设备自身的重量对操作箱造成较大的压力的情况。 |
