一种连续制备二维纳米薄膜的装置
基本信息
申请号 | CN201620809808.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205999481U | 公开(公告)日 | 2017-03-08 |
申请公布号 | CN205999481U | 申请公布日 | 2017-03-08 |
分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 殷建伟 | 申请(专利权)人 | 广州市纳清环保科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 510000 广东省广州市番禹区石基镇官南工业区二街4号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种连续制备二维纳米薄膜的装置,其结构包括:脚架、底座、机架、壳体、电气箱、调节面板、平台、气体接口、制备装置、进料口、观察窗、传送装置、真空装置、显示屏、控制面板、出料箱;所述脚架固定连接于底座下,所述底座上固定连接有机架,所述机架外设有壳体,所述底座上设有电气箱,所述底座上设有出料箱,所述电气箱上设有调节面板,所述电气箱上设有显示屏。本实用新型的有益效果:具有连续制备二维纳米薄膜的特点,可以大面积、规模化制备如石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜,适应于产业化发展,有助于实现二维纳米薄膜技术的产业化,设有的观察窗可查看制备的实时过程。 |
