一种连续制备二维纳米薄膜的装置

基本信息

申请号 CN201620809808.9 申请日 -
公开(公告)号 CN205999481U 公开(公告)日 2017-03-08
申请公布号 CN205999481U 申请公布日 2017-03-08
分类号 C23C16/54(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 殷建伟 申请(专利权)人 广州市纳清环保科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 510000 广东省广州市番禹区石基镇官南工业区二街4号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种连续制备二维纳米薄膜的装置,其结构包括:脚架、底座、机架、壳体、电气箱、调节面板、平台、气体接口、制备装置、进料口、观察窗、传送装置、真空装置、显示屏、控制面板、出料箱;所述脚架固定连接于底座下,所述底座上固定连接有机架,所述机架外设有壳体,所述底座上设有电气箱,所述底座上设有出料箱,所述电气箱上设有调节面板,所述电气箱上设有显示屏。本实用新型的有益效果:具有连续制备二维纳米薄膜的特点,可以大面积、规模化制备如石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜,适应于产业化发展,有助于实现二维纳米薄膜技术的产业化,设有的观察窗可查看制备的实时过程。