一种真空镀膜舱的两级抽真空结构
基本信息
| 申请号 | CN201420718920.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204251701U | 公开（公告）日 | 2015-04-08 |
| 申请公布号 | CN204251701U | 申请公布日 | 2015-04-08 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴晓彤 | 申请（专利权）人 | 中国建设银行股份有限公司漳州龙文支行 |
| 代理机构 | 福州君诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戴雨君 |
| 地址 | 360000 福建省漳州市龙文区蓝田镇长山农场龙文中学边上 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜舱的两级抽真空结构，其包括真空镀膜舱本体，所述真空镀膜舱本体的顶部设有第一抽真空管，所述第一抽真空管连接有第一抽真空装置，所述真空镀膜舱本体的侧壁下部设有第二抽真空管，所述第二抽真空管连接有第二抽真空装置。本实用新型能够有效地避免在抽真空时，灰尘等杂质对待镀膜物品的影响，提高镀膜的质量。 |
