一种针对超厚TiN膜层保持超硬特性同时提高韧性的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610035095.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105779936B | 公开（公告）日 | 2018-12-04 |
| 申请公布号 | CN105779936B | 申请公布日 | 2018-12-04 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/48;C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 廖斌;王宇东;姜其立;张旭;罗军;吴先映 | 申请（专利权）人 | 广东省广新创新研究院有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100875 北京市海淀区新街口外大街19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备超厚以及韧性高的TiN方法，其中，制备该TiN膜方法包括：采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA)，在工件表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗；然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚TiN膜层；重复调制周期直至TiN膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在工件沉积TiN膜具有很好韧性以及很高的显微硬度。 |
