一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110557217.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN115369482A | 公开（公告）日 | 2022-11-22 |
| 申请公布号 | CN115369482A | 申请公布日 | 2022-11-22 |
| 分类号 | C30B15/28（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 项龙;赵子龙;刘振宇;吴树飞;王林;王建平 | 申请（专利权）人 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺，包括：拉制单晶过程中，当坩埚内部剩料较少时，调整主加热器的加热功率，同时调整坩埚转速，控制单晶尾部的直径；当满足预设条件时，停止拉晶。本发明的有益效果是降低坩埚的转速以及对主加热器进行一定的温补，避免加热功率低和坩埚转速过快导致坩埚内的硅液结晶，针对不同的剩料重量来调整主加热器的加热功率以及坩埚的转速，能够更加准确的控制单晶的直径，使单位小时内重量变化较现有技术增加，拉到吸料要求剩料所需时间较现有技术减小，减少工时浪费，降低综合成本。 |
