一种晶圆棒开方回收装置及回收方法
基本信息
申请号 | CN202110557200.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN115366274A | 公开(公告)日 | 2022-11-22 |
申请公布号 | CN115366274A | 申请公布日 | 2022-11-22 |
分类号 | B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 贡艺强;梁志慧;王猛;林雪龙;王晓鹏;李喜珍;邢玉军 | 申请(专利权)人 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种晶圆棒开方回收装置,包括回收箱,还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件;所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料,以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上,再被传至所述回收箱中收集。本发明还提出采用该回收装置的一种晶圆棒开方回收方法。本发明提出的回收装置及回收方法,用于边皮收集,适用于晶圆棒开方为多边形方棒的边皮回收,可使边皮料被安全且稳妥地脱离方棒,下落至移动的传送件上,并直接随传送件传输方向被移走,防止其下落弹起造成钢线被挂断;且下落的边皮料受传送件移动的牵引力减少其受重力而引起的破裂,降低硅料损耗,亦降低生产成本。 |
