一种磷镓共掺单晶的拉制工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110522378.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN115341269A | 公开（公告）日 | 2022-11-15 |
| 申请公布号 | CN115341269A | 申请公布日 | 2022-11-15 |
| 分类号 | C30B15/04（2006.01）;C30B15/20（2006.01）;C30B29/06（2006.01） | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 杨志;刘有益;程立波;王林;徐强;郭志荣 | 申请（专利权）人 | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种磷镓共掺单晶的拉制工艺，包括以下步骤：制备含有磷和镓的多晶硅原料；将含有磷和镓的多晶硅原料和埚底料装入坩埚内；依次进行化料、稳温、引晶、放肩、转肩、等径生长和收尾，并控制各个阶段的水冷内导的冷却水的流量为30‑280slpm。本发明的有益效果是在拉晶的装料时装入含有磷和镓的多晶原料，进行磷元素和镓元素的固相掺杂，通过控制水冷内导的冷却液的流量控制单晶的生长速度，调节速度快，可快速控制单晶用热场，使得单晶的生长过程可控性提高，延长单晶的长度。 |
