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一种钼导流筒及单晶炉

基本信息

申请号 CN201611143577.3 申请日 -
公开（公告）号 CN106521617A 公开（公告）日 2017-03-22
申请公布号 CN106521617A 申请公布日 2017-03-22
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 洪亚丽;姜树炎 申请（专利权）人 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司
代理机构 深圳市深联知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 徐炫
地址 721000 陕西省宝鸡市高新五路财富大厦A座1709室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种钼导流筒，其包括钼内筒、保温层、钼外筒及安装定位环；所述钼内筒与所述钼外筒之间形成密封腔，所述保温层设置于所述密封腔中；所述钼内筒具有光滑内表面；所述钼外筒定位安装于所述安装定位环，用于通过所述安装定位环安装所述钼导流筒。采用上述方案，本发明通过对导流筒加工理念及材料的更换，在单晶硅生长过程中减少石墨材料中杂质对单晶硅棒的污染；改变了现有石墨材质导流筒在韧性上不足的特点，降低因导流筒碎裂、脱落而引起的热场损坏风险；容易加工，提升产品使用寿命；并且能够有效降低导流筒内表面的温度，隔断筒内外温度，为硅单晶的顺利生长提供一定的便利。