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一种单晶炉石英导流筒

基本信息

申请号 CN201611143546.8 申请日 -
公开（公告）号 CN106521616A 公开（公告）日 2017-03-22
申请公布号 CN106521616A 申请公布日 2017-03-22
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 洪亚丽;姜树炎 申请（专利权）人 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司
代理机构 深圳市深联知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 徐炫
地址 721000 陕西省宝鸡市高新五路财富大厦A座1709室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉石英导流筒，设有石英内筒和内筒支架，所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁，所述石英内筒的内壁设有铱层，所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层；所述石英内筒为圆锥体，所述石英内筒的上端边缘设有裙边；所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台；所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕；所述铱层设置于所述光滑内表面上；所述内筒支架为埚形，所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台，所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上；所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩；在单晶硅生长过程中，导流筒具有较高的强度与隔热性，在高温条件下具有较高的抗裂性和抗震性。