一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构
基本信息
| 申请号 | CN202210070349.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114453338A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114453338A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 陈兆荣 | 申请（专利权）人 | 赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中创博腾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214104江苏省无锡市锡山区安镇街道丹山路88号锡东创融大厦C座1210 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件，所述连接构件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端设有移动座，所述移动座内侧底部设有驱动机构，所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴，且所述传动轴末端连接有转动环，所述转动环一侧表面设置有环形管，所述环形管一侧设置有吹扫机构；通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。 |
