一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备
基本信息
| 申请号 | CN202121504398.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215757606U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215757606U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周佑丞;谭建;谢洪波;张春成;赵志然 | 申请（专利权）人 | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 何文红 |
| 地址 | 410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备，该托盘包括托盘底板和用于支撑石墨舟的支撑机构，支撑机构包括至少两个支架和至少一个防抖机构，支架设于托盘底板的两端，防抖机构设于托盘底板的中部。石墨舟包括舟片和用于支撑舟片的托盘。本实用新型石墨舟托盘，通过在托盘底板上增加具有随动、防抖功能的支撑机构，不仅能够减少石墨舟在横向和竖向运动过程中的抖动，而且能够增强石墨舟的横向和竖向运动刚度，减少了石墨舟的变形，具有整体刚度高、防抖效果好等优点，在保证石墨舟与硅片紧密贴合的前提下，有效减少翘片及掉片现象，提高了PECVD设备的放电可靠性及稳定性，提高了整机生产效率，使用价值高，应用前景好。 |
