在线石墨舟翘片检测装置及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202111405832.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114136967A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114136967A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 代威;李祥辉 | 申请（专利权）人 | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 戴玲 |
| 地址 | 410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线石墨舟翘片检测装置及检测方法，装置包括机架、石墨舟纵向传输机构、石墨舟横向传输机构、检测元件和检测纵向移动机构，所述石墨舟横向传输机构设于机架的底部，石墨舟纵向传输机构设于石墨舟横向传输机构上，石墨舟纵向传输机构用于驱动石墨舟纵向移动，石墨舟横向传输机构用于驱动石墨舟纵向传输机构横向移动，检测纵向移动机构设于机架上且位于石墨舟横向传输机构的上方，检测纵向移动机构用于驱动检测元件纵向移动。本发明通过检测元件自动检测石墨舟内的硅片，不再需要人工对石墨舟进行翘片检测，自动化程度高，效率更高，检测可靠性更高，在减少人工接触带来的污染及碎片，节约设备的运行成本。 |
