一种平板式PECVD设备用多段式电极板辉光放电装置
基本信息
| 申请号 | CN202010651363.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113913790A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113913790A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曾武杨;陈特超;唐电;杨彬;杨志权 | 申请（专利权）人 | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张园 |
| 地址 | 410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种平板式PECVD设备用的多段式电极板辉光放电装置，包括反应腔、腔盖、多个送气机构、上电极板和下电极板，所述腔盖设置在所述反应腔的上方，所述上电极板和下电极板设置在所述反应腔内，所述上电极板包括多个电极单元，所述多个送气机构分别与多个电极单元连通。本发明具有镀膜均匀性高、制造成本更低、能提升电池转换效率等优点。 |
