多线切割硅片的废旧料浆回收方法

基本信息

申请号 CN200910064448.9 申请日 -
公开(公告)号 CN101513753B 公开(公告)日 2011-06-01
申请公布号 CN101513753B 申请公布日 2011-06-01
分类号 B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 杨东平;周凯 申请(专利权)人 河南醒狮高新技术股份有限公司
代理机构 郑州异开专利事务所(普通合伙) 代理人 河南醒狮高新技术股份有限公司;平顶山市中奥磨料有限公司
地址 450001 河南省郑州市高新技术产业开发区银屏路12号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多线切割硅片的废旧料浆回收方法,包括下述步骤:将回收的废旧料浆用切割液稀释至固体质量占20%-25%;用连续离心分离法将6微米以粗的碳化硅刃料颗粒分离;用压榨机将剩余含有6微米以细的碳化硅微粉和硅微粉的切割液料浆压榨成滤饼;用微波对上述滤饼进行干燥;用气流分级机对滤饼进行碳化硅微粉和硅微粉的分级处理;将压榨出的切割液和切割液蒸汽用过滤机进行过滤后用活性白土吸附剂对其中的残余杂质进行吸附除杂后经脱水、脱色灌装回收。本发明优点在于对废旧料浆的处理中,整个生产过程无任何污染,不消耗水,节约能耗70%以上,产品回收率高达98%以上。