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一种太阳能电池生产中去除单晶硅片上手指印的方法

基本信息

申请号	CN201110171006.1	申请日	-
公开（公告）号	CN102842641A	公开（公告）日	2012-12-26
申请公布号	CN102842641A	申请公布日	2012-12-26
分类号	H01L31/18(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B11/00(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	刘万学;张兵;刘志坚;侯丽艳;刘海涛	申请（专利权）人	吉林庆达新能源电力股份有限公司
代理机构	吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司	代理人	吉林庆达新能源电力股份有限公司
地址	136001 吉林省四平市铁东区烟厂路1118号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种太阳能电池生产过程中单晶硅片的清洗工艺，具体的说是一种能够干净有效的清洗掉单晶硅片来料时硅片上手指印的方法。该方法是通过①在容积为150-180升的工艺槽中加入150-160升的去离子水，工艺槽中的水温加热并保持在15～25度左右；然后开始进行各种化学品的配制，加入HF（电子级）16升，用PP材质长棒均匀搅拌，得到配液待用；②将规格为125*125单晶硅片放入承载盒中，将多个承载盒依次装入大花蓝中作为一个批次，要求每个批次单晶硅片的数量在300片—400片之间，最后将装有单晶硅片的大花蓝放入装有①中配液的工艺槽中，浸泡时间控制在200～300秒左右，取出大花蓝中的单晶硅片完成清洗过程。