一种保护膜的真空镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201410071761.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103774143A | 公开（公告）日 | 2014-05-07 |
| 申请公布号 | CN103774143A | 申请公布日 | 2014-05-07 |
| 分类号 | C23C28/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄伟雄 | 申请（专利权）人 | 北京三重镜业（大厂）有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 卞华欣 |
| 地址 | 523710 广东省东莞市塘厦镇科苑城工业园科苑8路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及金属膜上镀保护膜的技术领域，具体涉及一种保护膜的真空镀膜方法，包括以下制备步骤：步骤1：抽真空：将待镀膜产品置于真空室，然后抽真空，同时加热，使容器的上层形成水蒸气；步骤2：镀金属膜：利用蒸发式镀金属膜的工艺镀金属膜；步骤3：镀完金属膜之后通空气：关闭扩散泵，打开分子栅，通过流量计向真空室充入空气，并稳定真空度保持0.2-1分钟；步骤4：清洁金属膜表面：启动离子轰击电源；步骤5：然后镀保护膜：充入有机硅的液体蒸汽，并保持气压不变，再次启动离子轰击电源，使有机硅在金属膜上逐层生长形成保护膜，具有生产效率高，成本低，保护膜致密性好，保护性能强，适用范围广的特点。 |
