一种快速仿真光刻工艺的计算方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202111033531.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113779928B | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN113779928B | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | G06F30/398（2020.01）I;G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 胡滨 | 申请（专利权）人 | 珠海市睿晶聚源科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 519000广东省珠海市大学路101号3栋302 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种快速仿真光刻工艺的计算方法及系统，所述方法包括：采取数值积分公式，获取计算Hopkins公式所需的采样点（f’,g’）；计算PupilK函数、PupilK*函数以及光源J函数的重叠区域；找到所述重叠区域的共有区域即积分区域；将所述积分区域划分网格，对每一个网格计算数值积分；将每一个分段区域的积分值相加得到TCC函数值；获得光强值。本发明的快速计算TCC的方法，可以提高仿真光刻工艺的速度以及精度，以用于先进节点的版图光学邻近修正处理。 |
