一种加速版图处理的方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202010444483.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111458974A | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN111458974A | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | G03F1/36(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 赵西金;胡滨 | 申请（专利权）人 | 珠海市睿晶聚源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陶小丽 |
| 地址 | 519000广东省珠海市香洲区大学路101号3栋302 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体制造技术领域，具体是一种加速版图处理的方法及系统，方法包括版图划分及修正步骤和版图合并步骤，系统包括一个管理节点、若干个计算节点和若干个储存节点，进行层次化整理，区块划分，并行修正，修正结果合并等需要在计算机处理系统中完成，区块相互独立，可以使区块在多个计算节点独立完成修正；发明利用复用单元层次化，其余单元扁平化分割版图的方式，用于加速OPC全芯片并行修正的过程，提高并行修正的效率，修正结果复用，提高内部单元制造的一致性，保证芯片的性能，发明层次化的单元树合并修正切割块，可以缩短OPC验证，掩膜规则检查，二次修正的时间，同时降低修正后数据的存储空间。 |
