一种集成电路光学邻近修正并行处理的方法及其系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种集成电路光学邻近修正并行处理的方法及其系统

基本信息

申请号	CN202111033770.2	申请日	-
公开（公告）号	CN113777877A	公开（公告）日	2021-12-10
申请公布号	CN113777877A	申请公布日	2021-12-10
分类号	G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	赵西金;胡滨	申请（专利权）人	珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	卢泽明
地址	519000广东省珠海市大学路101号3栋302
法律状态	-

摘要

一种集成电路光学邻近修正并行处理的方法及其系统，其特征在于，包括：S1、主节点读取版图数据，并根据负载平衡的原则和剖分算法，将版图分解为各区块；S2、将各区块数据分别调度到多个从节点进行预处理；S3、利用并行消息传递接口，同步对各个区块的图形，进行边切分以及控制点设置；S4、利用并行消息传递接口，同步对各节点区块的版图图形进行边偏移计算,根据光学模型计算边缘放置误差；S5、若边缘放置误差满足优化要求，结束修正，主节点合并各区块修正结果；否则根据误差，迭代运行所述S4，直到边缘放置误差满足优化要求。本发明法可以将整体版图数据的每次迭代计算的边偏移信息同步，通过规则约束，保证计算的修正图形拼接无异常。