一种单晶硅铸锭炉
基本信息
| 申请号 | CN202021224934.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213327933U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213327933U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C30B29/06（2006.01）I;C30B11/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈红荣;孙庚昕;胡动力;张华利 | 申请（专利权）人 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济开发区坡里路东、黄石路南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶硅铸锭炉，包括由外而内依次套接设置的炉体、隔热笼和坩埚，在所述隔热笼的内部还设有加热器所述坩埚四周侧壁的外围设有一圈石墨护板所述坩埚与所述石墨护板之间相隔3‑20mm，在该间隙空间中设置一层保温层。本实用新型通过在坩埚和石墨护板之间采用耐1600℃以上的纤维保温材料制作的保温层，能够在单晶硅制作的熔化阶段阻挡加热器热量的直接辐射，起到保护籽晶的效果，并且在长晶阶段，起到对坩埚的保温效果，减少侧面多晶插入，提高单晶面积。 |
