籽晶铺设方法和单晶硅铸造方法

基本信息

申请号 CN202110583418.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113293434A 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN113293434A 申请公布日 2021-08-24
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈红荣;孙庚昕;张华利;汪晨 申请(专利权)人 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 林青中
地址 221004江苏省徐州市经济开发区杨山路88号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种籽晶铺设方法和单晶硅铸造方法,该籽晶铺设方法包括如下步骤:在铸造容器底部铺设多块单晶籽晶,并将多块单晶籽晶整体拼合为籽晶层,在侧面相拼接的单晶籽晶中,相互接触的两个侧面之间的晶向不同;多块单晶籽晶包括至少一块长方形籽晶与多块第一正方形籽晶,多块第一正方形籽晶拼接形成整体呈正方形的基础籽晶部,长方形籽晶的长边与基础籽晶部的侧边对齐拼接,长方形籽晶长边的长度与基础籽晶部侧边的长度相等,长方形籽晶的短边长度大于第一正方形籽晶的边长。该籽晶铺设方法能够在生长的硅锭的最外围形成牺牲区域,进而通过舍去牺牲区域,提高了位于小方锭整体的良品率。