籽晶铺设方法和单晶硅铸造方法
基本信息
申请号 | CN202110583418.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113293434A | 公开(公告)日 | 2021-08-24 |
申请公布号 | CN113293434A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈红荣;孙庚昕;张华利;汪晨 | 申请(专利权)人 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 林青中 |
地址 | 221004江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种籽晶铺设方法和单晶硅铸造方法,该籽晶铺设方法包括如下步骤:在铸造容器底部铺设多块单晶籽晶,并将多块单晶籽晶整体拼合为籽晶层,在侧面相拼接的单晶籽晶中,相互接触的两个侧面之间的晶向不同;多块单晶籽晶包括至少一块长方形籽晶与多块第一正方形籽晶,多块第一正方形籽晶拼接形成整体呈正方形的基础籽晶部,长方形籽晶的长边与基础籽晶部的侧边对齐拼接,长方形籽晶长边的长度与基础籽晶部侧边的长度相等,长方形籽晶的短边长度大于第一正方形籽晶的边长。该籽晶铺设方法能够在生长的硅锭的最外围形成牺牲区域,进而通过舍去牺牲区域,提高了位于小方锭整体的良品率。 |
