THz-TDS测试样品时反射脉冲干涉滤除方法、系统、介质及装置

基本信息

申请号 2020109674005 申请日 -
公开(公告)号 CN112255190A 公开(公告)日 2021-01-22
申请公布号 CN112255190A 申请公布日 2021-01-22
分类号 G01N21/3586(2014.01)I;G06F17/14(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 杨旻蔚 申请(专利权)人 华太极光光电技术有限公司
代理机构 上海光华专利事务所(普通合伙) 代理人 邬嫡波
地址 200433上海市杨浦区军工路1436号64幢一层A137室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种THz‑TDS测试样品时反射脉冲干涉滤除方法、系统、介质及装置,包括:按照常规THz‑TDS测试方法,获取样品的时域信号TSam(t)以及样品和吸收谱信号A(f);对TSam(t)中的主脉冲与第一级反射脉冲进行时域分析,获取两者对应的时域延时量Δt;对A(f)进行N点离散傅里叶变换得到横坐标为光程差的吸收谱干涉曲线S(t)和干涉功率谱密度曲线I(t)=|S(t)/N|2;结合Δt对I(t)进行滤波迭代得到新干涉功率谱密度曲线Inew(t);将I(t)和Inew(t)进行比较得到对应滤波段的幅度衰减系数ai=[Inew(ti)/I(ti)]1/2,得到滤波修正后的离散傅里叶变换Snew(t);对Snew(t)进行离散傅里叶逆变换,得到滤除干涉后的吸收谱:Anew(f)=IFFT[Snew(t)]。本发明无需先验获取样品色散信息或反射脉冲信号出现的精确时域位置,实现对于吸收谱反射峰干涉条纹高效率的滤波。